Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorУдалова М. С.
dc.contributor.authorЩербак А. В.
dc.coverage.spatialструктуры карбид кремния
dc.coverage.spatialэндотаксия
dc.creatorУдалова М. С.
dc.date2022
dc.date.accessioned2025-11-27T12:30:44Z-
dc.date.available2025-11-27T12:30:44Z-
dc.date.issued2022
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20221021114735
dc.identifier.citationУдалова, М. С. Оптический спектр отражения структур карбид кремния на кремнии, получаемых методом эндотаксии : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.03.02 Физика (уровень бакалавриата), направленность (профиль) «Физика» / М. С. Удалова ; рук. работы А. В. Щербак ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак., Каф. физики твер. - Самара, 2022. - 1 файл (1,5 Мб). - Текст : электронный
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/55570-
dc.subjectструктуры карбид кремния
dc.subjectэндотаксия
dc.subject.rugasnti29.01
dc.subject.udc538.9
dc.titleОптический спектр отражения структур карбид кремния на кремнии, получаемых методом эндотаксии
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorЕстественнонаучный институт
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Opticheskii-spektr-otrazheniya-struktur-karbid-kremniya-na-kremnii-poluchaemyh-metodom-endotaksii-99999
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Opticheskii-spektr-otrazheniya-struktur-karbid-kremniya-na-kremnii-poluchaemyh-metodom-endotaksii-99999
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.