1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorХлутчина А. С.
dc.contributor.authorЩербак А. В.
dc.coverage.spatialкремний
dc.coverage.spatialметод зндотаксии
dc.coverage.spatialсверхвысокие частоты
dc.coverage.spatialструктуры карбид кремния
dc.creatorХлутчина А. С.
dc.date2022
dc.date.accessioned2025-11-27T12:30:41Z-
dc.date.available2025-11-27T12:30:41Z-
dc.date.issued2022
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20221021115003
dc.identifier.citationХлутчина, А. С. Электрофизические параметры структур карбид кремния на кремнии в области сверхвысоких частот : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.03.02 Физика (уровень бакалавриата), направленность (профиль) «Физика» / А. С. Хлутчина ; рук. работы А. В. Щербак ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак., Каф. физики тве. - Самара, 2022. - 1 файл (3,2 Мб). - Текст : электронный
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/55568-
dc.description.abstractВыпускная работа включает в себя 33 страницы, 3 главы, введение, заключение, 20 рисунков, 47 литературных источников. Объектом исследования являются структуры карбид кремния на кремнии и карбид кремния на поликоре, получаемых методом эндотаксии и ВЧ магнетронного распыления. Предметом исследования являются электрофизические параметры исследуемых структур. Цель данной работы: экспериментально определить удельное сопротивление тонких пленок карбида кремния на монокристаллических (кремний, сапфир) и поликристаллических (поликор) подложках, полученные с помощью волновода, частично перекрытого образцом. В первой главе рассмотрены свойства и некоторые методы получения тонкопленочных структур карбида кремния. Вторая глава посвящена методам исследования электрофизических параметров полупроводниковых материалов. В третьей главе представлены результаты исследования структур карбид кремния на кремнии и поликоре. Результаты данной работы могут быть использованы в области разработки полупроводниковых микроэлектронных приб
dc.subjectкремний
dc.subjectструктуры карбид кремния
dc.subjectсверхвысокие частоты
dc.subjectметод зндотаксии
dc.subject.rugasnti29.01
dc.subject.udc538.9
dc.titleЭлектрофизические параметры структур карбид кремния на кремнии в области сверхвысоких частот
dc.typeText
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.contributor.authorЕстественнонаучный институт
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Elektrofizicheskie-parametry-struktur-karbid-kremniya-na-kremnii-v-oblasti-sverhvysokih-chastot-100002
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Elektrofizicheskie-parametry-struktur-karbid-kremniya-na-kremnii-v-oblasti-sverhvysokih-chastot-100002
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Хлутчина_Анастасия_Сергеевна_Электрофизические_параметры_структур_карбид.pdf1.24 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.