1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorФедоренко А. В.
dc.contributor.authorХаритонов С. И.
dc.coverage.spatialинтерферометрия белого света
dc.coverage.spatialскорость травления
dc.coverage.spatialсухое изотропное травление кремния
dc.creatorФедоренко А. В.
dc.date2021
dc.date.accessioned2025-11-27T12:26:52Z-
dc.date.available2025-11-27T12:26:52Z-
dc.date.issued2021
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210914145910
dc.identifier.citationФедоренко, А. В. Исследование параметров сухого изотропного травления кремния : вып. квалификац. работа по по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. В. Федоренко ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатик. - Самара, 2021. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/55197-
dc.description.abstractОбъектом исследования является реактивно-ионное травление кремниячерез мягкие маски на основе фоторезистов марок ФП-3520 и ФП-051-КИ.Цель работы – экспериментально определить зависимость скоростисухого изотропного травления кремния от параметров процесса травления.В результате работы был произведен обзор литературы, а именнометодов литографии, травления, измерения глубины травления. Былипроизведены литографические процессы, травление кремния через маскиреактивно-ионным методом. Проведен анализ полученных данных. Былиисследованы параметры сухого изотропного травления кремния.Практическая ценность работы заключается в возможности дальнейшейоптимизации параметров реактивно-ионного процесса при измененииглобальных параметров: давление в камере, ICP мощность, процент открытойплощади, температура подложки; параметров шага травления: расход SF 6 ,напряжение смещения, время травления и параметров осаждения: расход C 4 F 8 ,напряжение смещения, время осаждения.
dc.subjectинтерферометрия белого света
dc.subjectскорость травления
dc.subjectсухое изотропное травление кремния
dc.subject.rugasnti55.03
dc.subject.udc621.794.4
dc.titleИсследование параметров сухого изотропного травления кремния
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Issledovanie-parametrov-suhogo-izotropnogo-travleniya-kremniya-94435
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Федоренко_Алексей_Владимирович_Исследование_параметров_сухого_изотропного.pdf1.31 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.