1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorГуреев Н. М.
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.
dc.contributor.authorШишкина Д. А.
dc.coverage.spatialмагнетронное напыление
dc.coverage.spatialтехнология изготовления
dc.coverage.spatialтонкопленочные резисторы повышенной точности
dc.coverage.spatialфотолитография
dc.creatorГуреев Н. М.
dc.date2021
dc.date.accessioned2025-11-27T12:26:48Z-
dc.date.available2025-11-27T12:26:48Z-
dc.date.issued2021
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210914105614
dc.identifier.citationГуреев, Н. М. Разработка технологии изготовления и исследование характеристик тонкопленочного резистора : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Н. М. Гуреев ; рук. работы А. Н. Агафонов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, м. - Самара, 2021. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/55172-
dc.description.abstractОбъектом исследования является технология и методы изготовлениятонкопленочного резистора (ТПР).Целью работы является разработка технологии изготовленияи исследование характеристик тонкопленочного резистора.В ходе работы проведен анализ источников по теме исследования.Предложена конструкция тонкопленочного резистора со ступенчатойподгонкой, в которой резистор дополнительно замкнут перемычкой.Произведен выбор необходимых материалов для изготовления ТПР высокойточности. Произведен расчет и конструирование данного радиоэлектронногоэлемента. Предложен технологический процесс методом двойнойфотолитографии. Изготовлен и исследован высокоточный тонкопленочныйрезистор.Практическая значимость работы заключается в составлении полноготехнологического маршрута, разработка и изготовление точноготонкопленочного резистора.
dc.subjectмагнетронное напыление
dc.subjectтехнология изготовления
dc.subjectтонкопленочные резисторы повышенной точности
dc.subjectфотолитография
dc.subject.rugasnti47.61
dc.subject.udc621.316.8
dc.titleРазработка технологии изготовления и исследование характеристик тонкопленочного резистора
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorматематики и электроники
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Razrabotka-tehnologii-izgotovleniya-i-issledovanie-harakteristik-tonkoplenochnogo-rezistora-94354
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Гуреев_Николай_Михайлович_Разработка_технологии_изготовления.pdf1.47 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.