Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorГафуров Р. И.
dc.contributor.authorХаритонов С. И.
dc.contributor.authorНефедов С. А.
dc.coverage.spatialэйкональная функция
dc.coverage.spatialдифракционные оптические элементы
dc.coverage.spatialдифракционные линзы
dc.coverage.spatialмикрорельеф
dc.coverage.spatialтравление
dc.coverage.spatialраспределение интенсивности
dc.coverage.spatialколлиматор
dc.coverage.spatialлитография
dc.creatorГафуров Р. И.
dc.date2017
dc.date.accessioned2025-11-27T12:36:35Z-
dc.date.available2025-11-27T12:36:35Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20171214150724
dc.identifier.citationГафуров, Р. И. Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной линзы : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Р. И. Гафуров ; рук. работы С. И. Харитонов; рец. С. А. Нефедов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Фак-т электроники и приборостроени. - Самара, 2017. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/54482-
dc.description.abstractОбъектом исследования является отражающая дифракционная линза с фокусом в точку, изготовленная методами микро- и наноэлектроники. Цель работы – изготовление и исследование дифракционной линзы в среднем ик-диапазоне. В работе рассмотрен алгоритм расчета фо
dc.subjectдифракционные линзы
dc.subjectдифракционные оптические элементы
dc.subjectколлиматор
dc.subjectлитография
dc.subjectмикрорельеф
dc.subjectраспределение интенсивности
dc.subjectтравление
dc.subjectэйкональная функция
dc.subject.rugasnti29.31
dc.subject.udc535.42
dc.titleИзготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной линзы
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VKR/Izgotovlenie-s-pomoshu-tehnologii-litografii-i-eksperimentalnoe-issledovanie-harakteristik-difrakcionnoi-linzy-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-69352
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.