Применение структурированных лазерных пучков в задачах оптической литографии и микрообработки

Бакиров Ш. М.; Паранин В. Д.; Карпеев С. В.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Бакиров Ш. М.
dc.contributor.author	Паранин В. Д.
dc.contributor.author	Карпеев С. В.
dc.coverage.spatial	оптическая литография
dc.coverage.spatial	оптическая микрообработка
dc.coverage.spatial	техника безопасности
dc.coverage.spatial	экспериментальная установка
dc.coverage.spatial	лазерное излучение
dc.creator	Бакиров Ш. М.
dc.date	2016
dc.date.accessioned	2025-11-27T12:33:54Z	-
dc.date.available	2025-11-27T12:33:54Z	-
dc.date.issued	2016
dc.identifier.identifier	RU\НТБ СГАУ\ВКР20160408103658
dc.identifier.citation	Бакиров, Ш. М. Применение структурированных лазерных пучков в задачах оптической литографии и микрообработки : вып. квалификац. работа по специальности "Проектирование и технология радиоэлектрон. средств" / Ш. М. Бакиров ; рук. работы В. Д. Паранин ; рец. С. В. Карпеев ; Минобрнауки России, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (нац. исслед. ун-т) (СГАУ), Ин-т электроники и приборостроения, Каф. - Самара, 2016. - on-line
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/54341	-
dc.description.abstract	В данной дипломной работе разработаны методы формирования структурированных лазерных пучков для задач оптической литографии и микрообработки. Также спроектированы дифракционный оптический элемент и поляризатор, с помощью которых осуществляется формировани
dc.subject	лазерное излучение
dc.subject	оптическая литография
dc.subject	оптическая микрообработка
dc.subject	техника безопасности
dc.subject	экспериментальная установка
dc.subject.rugasnti	47.03
dc.subject.udc	621.373.826
dc.title	Применение структурированных лазерных пучков в задачах оптической литографии и микрообработки
dc.type	Text
local.contributor.author	Министерство образования и науки России
local.contributor.author	Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева (национальный исследовательский университет) (СГАУ)
local.contributor.author	Институт электроники и приборостроения
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/VKR/Primenenie-strukturirovannyh-lazernyh-puchkov-v-zadachah-opticheskoi-litografii-i-mikroobrabotki-Elektronnyi-resurs-vyp-kvalifikac-rabota-po-specialnos-61224
Appears in Collections:	Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:

File	Size	Format
Бакиров_Применение_структурированных_лазерных_пучков.pdf	1.98 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy

Show simple item record