Моделирование процессов переноса в условиях вакуума стохастическими методами

Abstract

Объектом исследования в данной работе является процесс роста тонких плёнок при термовакуумном напылении. Цель работы – разработка и тестирование симуляционной математической модели массопереноса в условиях высокого и среднего вакуума, базирующейся на методе Монте Карло. Проведен анализ литературных источников с целью определения оптимальных методов моделирования, проведён сравнительный анализ серии численных экспериментов различными методами моделирования и серии итоговой программы. По результатам модельных экспериментов подтверждено соответствие разработанной численной модели физическому поведению потока газа в вакуумной камере. Результаты моделирования были сравнены с результатами других моделей и аналитическом методе моделирования, а так же с практическими результатами. Актуальность работы заключается в разработке свободнодоступной и простой в использовании программы с открытым кодом для моделирования термовакуумного напыления.