| Title: | Определение электрофизических параметров полупроводников в СВЧ диапазоне |
| Authors: | Нерода Ю. А. Щербак А. В. |
| Keywords: | СВЧ волны пленочные структуры карбида кремния полупроводники СВЧ диапазоны эндотаксия электрофизические параметры карбид кремния |
| Issue Date: | 2020 |
| Citation: | Нерода, Ю. А. Определение электрофизических параметров полупроводников в СВЧ диапазоне : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.03.02 "Физика" (уровень бакалавриата) / Ю. А. Нерода ; рук. работы А. В. Щербак ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак-т, Каф. физики тверд. тела и неравновес. систем. - Самара, 2020. - on-line |
| Abstract: | Объектом исследования является структуры карбид кремния на кремнии и карбид кремния на поликоре, получаемых методом эндотаксии и ВЧ магнетронного распыления. Предметом исследования являются электрофизические параметры структур карбида кремния. Цель данной работы: определить электрофизические параметры полупроводников в СВЧ диапазоне, рассчитать параметры слоев карбида кремния на кремнии и на поликоре по известным коэффициентам отражения и прохождения СВЧ волны в волноводе . |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/52119 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Нерода_Юлия_Андреевна_Определение_электрофизических_параметров_полупроводников.pdf | 1.49 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.