Title: Определение электрофизических параметров полупроводников в СВЧ диапазоне
Authors: Нерода Ю. А.
Щербак А. В.
Keywords: СВЧ волны
пленочные структуры карбида кремния
полупроводники
СВЧ диапазоны
эндотаксия
электрофизические параметры
карбид кремния
Issue Date: 2020
Citation: Нерода, Ю. А. Определение электрофизических параметров полупроводников в СВЧ диапазоне : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.03.02 "Физика" (уровень бакалавриата) / Ю. А. Нерода ; рук. работы А. В. Щербак ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак-т, Каф. физики тверд. тела и неравновес. систем. - Самара, 2020. - on-line
Abstract: Объектом исследования является структуры карбид кремния на кремнии и карбид кремния на поликоре, получаемых методом эндотаксии и ВЧ магнетронного распыления. Предметом исследования являются электрофизические параметры структур карбида кремния. Цель данной работы: определить электрофизические параметры полупроводников в СВЧ диапазоне, рассчитать параметры слоев карбида кремния на кремнии и на поликоре по известным коэффициентам отражения и прохождения СВЧ волны в волноводе .
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/52119
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.