Свойства поверхности пористого кремния

Abstract

Объектом исследования являются различные поверхности слоев пористогокремния.Предметом исследования являются электрофизические параметрыисследуемых поверхностей.Цель данной работы: определение влияния поверхности слоя пористогокремния на электрофизические характеристики.В первой главе рассмотрены основные свойства пористого кремния и егоповерхности, сделан обзор различных методик его изготовления ивозможность использования пленок фторидов редкоземельных элементов какпассивирующего покрытия поверхности. Во второй главе показаны методикиизготовления и исследования образцов структур с пористым кремнием ипокрытиями из фторидов редкоземельных элементов (ФРЗЭ): диспрозия иэрбия, и алюминиевыми контактами. В третьей главе представленырезультаты экспериментальных исследований изготовленных образцов,включая анализ морфологии пористого слоя, вольт-амперные и вольт-фарадные характеристики.Результаты данной работы могут быть использованы в области разработкиполупроводниковых приборных структур с улучшенны