Разработка конструкции технологического стенда, предназначенного для синтеза тонкопленочных полимерных покрытий в условиях высокочастотной электрической плазмы

Abstract

Цель выпускной квалификационной работы (ВКР) – разработка конструкции технологического комплекса для синтеза органических полимерных соединений на поверхности подложки. Для достижения поставленной цели необходимо решить ряд задач:1) Исследовать возможность вариации в широких пределах технологических параметров, таких как;a) Парциальное давление рабочей среды азота в пределах 0,01 – 20 мм.рт.ст.;b) Парциальное давление исходных мономеров в пределах 10−2−10−4 мм.рт.ст.;c) Напряженность электрического поля в зоне полимеризации в пределах 0,1 – 100 В см;2) Исследовать возможность получения сополимеров на основе двух мономеров;3) Исследовать возможность контроля температуры в активной зоне.