Свойства границ раздела германий-фторид РЗЭ для затворных структур МДП-устройств

Abstract

Объектом исследования является МДП – структура алюминий – фторид неодима – германий.Цель работы – изучение поверхностных явлений МДП – структуры алюминий – фторид неодима – германий, на границе раздела диэлектрик – полупроводник и явлений, происходящих в диэлектрике данной структуры.В процессе работы изучаемые образцы подвергались циклам пробой – восстановление и температурному отжигу в печи, с последующим измерением их электрофизических характеристик.В результате работы проведена оценка изменения зарядового состояния и плотности поверхностных состояний, исследуемых МДП – структур.Значимость результатов работы в том, что они дают дополнительные сведения о процессах, происходящих на границе диэлектрик – полупроводник и в объѐме диэлектрика МДП – устройств.