Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКаяшева Л. А.
dc.contributor.authorЧепурнов В. И.
dc.coverage.spatialкарбид кремния
dc.coverage.spatialгетероструктура SiC/Si
dc.coverage.spatialполупроводниковые гетероструктуры
dc.coverage.spatialтензопреобразователи
dc.coverage.spatialдатчики деформации
dc.creatorКаяшева Л. А.
dc.date2017
dc.date.accessioned2025-11-27T12:12:56Z-
dc.date.available2025-11-27T12:12:56Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190419154905
dc.identifier.citationКаяшева, Л. А. Датчик деформации на основе гетероструктуры SiС/Si : вып. квалификац. работа по спец. "Физика" / Каяшева Любовь Андреевна ; рук. работы В. И. Чепурнов, допустил к защите В. В. Зайцев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Физ. фак-т,. - Самара, 2017. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/49926-
dc.description.abstractВыпускная квалификационная работа включает в себя: 55 страницы, 27 иллюстраций, 4 таблиц, 42 использованных источников и одна страница приложения. Объектом исследования данной работы является чувствительный элемент датчика деформации. Предметом данной работы является полупроводниковая гетероструктура SiC/Si с уникальными электрофизическими свойствами. Цель работы - исследование возможности использования гетероструктуры SiC/Si в качестве чувствительного элемента тензопреобразователя. Результат - показано, что для пленкт SiC на Si - подложке нельзя использовать вплавные контакты.
dc.subjectгетероструктура SiC/Si
dc.subjectдатчики деформации
dc.subjectкарбид кремния
dc.subjectполупроводниковые гетероструктуры
dc.subjectтензопреобразователи
dc.subject.rugasnti47.59.49
dc.subject.udc621.317
dc.titleДатчик деформации на основе гетероструктуры SiС/Si
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Datchik-deformacii-na-osnove-geterostruktury-SiSSi-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Fizika-78823
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.