Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Метод записи рельефа гармонических линз на основе использования фазовой коррекции записывающего пучка |
| Authors: | Титаев О. А. Скиданов Р. В. Суханов С. В. |
| Keywords: | запись смешанным пучком гармоническая линза симметричная структура лазерная фотолитография круговая лазерная записывающая система |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Титаев, О. А. Метод записи рельефа гармонических линз на основе использования фазовой коррекции записывающего пучка : вып. квалификац. работа по направлению подгот. (уровень бакалавриата) "Прикладная математика и информатика" / О. А. Титаев ; рук. работы Р. В. Скиданов ; нормоконтролер С. В. Суханов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, мат. и. - Самаpа, 2018. - on-line |
| Abstract: | Цель работы – исследование возможности использования записи смещенным лазерным пучком в лазерной фотолитографии вертикальных стенок гармонических линз.В настоящей работе будет предложена математическая модель записи лазерным пучком микрорельефа по фоторезисту. В процессе выполнения данной работы разработана программная реализация математической модели, проведены вычислительные эксперименты и получены изображения элементов микрорельефа, записанные статическим и динамическими записывающими оптическими системами. Разработка программного обеспечения выполнялась на языке С++. В качестве среды разработки использовалась Borland Turbo C++ с использованием стандартных библиотек. Операционная система Windows 10. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/49817 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Титаев_Олег_Андреевич_Метод_записи_рельефа_гармонических.pdf | 1.84 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.