Анализ физико-математических моделей порообразования при электролитическом травлении кремниевых пластин

Abstract

Актуальность работы. Пористый кремний является одним из наиболее широко исследуемых современных структурированных материалов, перспективы применения которого рассматриваются в области микро-, нано- и оптоэлектроники, а также для приложений в сенсорике, биосенсорике и солнечных батареях. Основным способом получения пористых слоев остается электрохимическое и химическое травление монокристаллических пластин в растворах плавиковой кислоты. Несмотря на более чем полувековую историю изучения электрохимического порообразования в кремниевых структурах, причины самоорганизации этого процесса и обеспечивающие его механизмы анодных реакций остаются недостаточно понятыми. В настоящее время одним из основных методов исследования в физике объектов микро- и наномира является математическое и компьютерное моделирование. В рамках данной работы поставлена цель: ознакомиться со всеми существующими физико-математическими моделями порообразования, выделить наиболее современные, отличающиеся наибольшей достоверностью и подтвержде