Оптические параметры пористого кремния и карбида кремния

Abstract

Объектом исследования являются структуры пористого кремния и пористого карбида кремния на кремнии. Предметом исследования являются оптические параметры исследуемых структур. Цель данной работы: Определить оптические свойства пористого кремния, полученного электрохимическим травлениеммонокристаллических кремниевых пластин и карбида кремния, полученного путем карбидизации пористого кремния. В первой главе рассмотрены основные свойства пористого кремния и пористого карбида кремния, а так же возможные перспективы их применения в области фотовольтаике и разработке химических датчиков. Во второй главе рассмотрены способы получения пористого кремния и пористого карбида кремния. В третьей главе рассмотрены методы определения оптических параметров полупроводников и структур с пористыми слоями. В четвертой главе представлены результаты экспериментальныхисследований образцов пористого кремния и пористого карбида кремния. Результаты данной работы могут быть использованы в области разработки полупроводниковых микроэлект