Исследование методов расчета и изготовления элементов микросистемной техники

Abstract

Объектом исследования являются элементы микросистемной техники – микрофлюидные газохроматографические колонки и дифракционные элементы инфракрасного (ИК) диапазона.Цели работы: • Создание компактных колонок для быстрого газохроматографического анализа на основе методов микрофлюидики; • Создание элементов микрооптики, формирующих бездифракционные пучки инфракрасного (ИК) диапазона. Разработан метод полировки пластин из кремния и нержавеющей стали с оптическим качеством для изготовления элементов микросистемной техники. Рассчитан фотошаблон бинарного дифракционного аксикона. Разработана технология изготовления отражающих элементов ИК-диапазона и изготовлен дифракционный отражающий аксикон для формирования бесселевых пучков в ИК области спектра. Проведено исследование изготовленного элемента методами численного и натурного эксперимента.