Исследование генератора низкотемпературной плазмы

Abstract

Объектом исследования является генератор низкотемпературной плазмы, формирующий поток отрицательно заряженных частиц на основе высоковольтного разряда. Цель работы – экспериментальные и расчетные исследования генератора низкотемпературной плазмы с целью определения наиболее оптимальных режимов работы для получения потока отрицательных ионов и электронов с необходимыми параметрами заряженных частиц (энергией частиц Еi, Ее, распределением плотности заряженных частиц по сечению потока). В результате работы были проведены расчеты электростатических полей, создаваемых системой электродов высоковольтного газового разряда, выполнены экспериментальные исследования: ВАХ генератора в зависимости от размера ячейки сетки-анода, расстояния катод-анод; зависимости потенциала зажигания разряда от давления; распределения плотности потока отрицательно заряженных частиц в зависимости от размера ячейки сетки-анода, расстояния катод-анод; проведен анализ результатов эксперимента и расчета.