| Title: | Модернизация системы управления технологическим процессом установки термовакуумного напыления ВУП-5 |
| Authors: | Татарников М. А. Харитонов С. И. Полетаев С. Д. |
| Keywords: | диффузионные насосы печатные платы ПМТ-2 термовакуумное напыление технологические процессы функциональные схемы |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Татарников, М. А. Модернизация системы управления технологическим процессом установки термовакуумного напыления ВУП-5 : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / М. А. Татарников ; рук. работы С. И. Харитонов; рец. С. Д. Полетаев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и. - Самара, 2018. - on-line |
| Abstract: | Объектом разработки является система управления технологическимпроцессом установки термовакуумного напыления ВУП 5.Цель работы - модернизация системы управления ТВН ВУП-5Проанализированы принципы работы установки термовакуумногонапыления ВУП-5.Разработана конструкция узла управления и индикации системытермовакуумного напыления ВУП-5.Произведена сборка блока управления и индикации. Проведен эксперимент, отражающий работу системы управления. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48598 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Татарников_Максим_Алексеевич_Модернизация_системы_управления_технологическим.pdf | 7.27 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.