Title: Модернизация системы управления технологическим процессом установки термовакуумного напыления ВУП-5
Authors: Татарников М. А.
Харитонов С. И.
Полетаев С. Д.
Keywords: диффузионные насосы
печатные платы
ПМТ-2
термовакуумное напыление
технологические процессы
функциональные схемы
Issue Date: 2018
Citation: Татарников, М. А. Модернизация системы управления технологическим процессом установки термовакуумного напыления ВУП-5 : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / М. А. Татарников ; рук. работы С. И. Харитонов; рец. С. Д. Полетаев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и. - Самара, 2018. - on-line
Abstract: Объектом разработки является система управления технологическимпроцессом установки термовакуумного напыления ВУП 5.Цель работы - модернизация системы управления ТВН ВУП-5Проанализированы принципы работы установки термовакуумногонапыления ВУП-5.Разработана конструкция узла управления и индикации системытермовакуумного напыления ВУП-5.Произведена сборка блока управления и индикации. Проведен эксперимент, отражающий работу системы управления.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48598
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.