Изготовление и экспериментальное исследование электроуправляемой дифракционной решетки на основе проводящего оксида индия - олова

Abstract

Объектом исследования в настоящей работе являетсяэлектроуправляемая дифракционная решетка на основе электрооптическогокристалла ниобата лития X-среза и электродов из оксида индия-олова.Цель работы – изготовить и экспериментально исследоватьэлектроуправляемую дифракционную решетку на основе проводящегооксида индия-олова.Изготовлена проводящая топология ITO-решетки на поверхностиэлектрооптического кристалла ниобата лития методом «взрывнойфотолитографии» с периодом 290 мкм.Исследованы оптические характеристики формирования электродов изоксида индия-олова и показано улучшенное, до 2 раз, оптическоепропускание по сравнению с алюминиевыми электродами за счет выборатолщины, обеспечивающей оптическое просветление.Исследовано электрическое сопротивление электродов из оксидаиндия-олова и установлено снижение удельного поверхностногосопротивления с 50 Ом/кв до 26 Ом/кв при однократном атмосферномотжиге при t=250 в течение 3 мин.Исследована модуляционная характеристика и показано снижениеинтенсивности 0