Разработка и исследование тонкопленочного нагревательного элемента

Abstract

Объектом исследования является технология создания тонких пленок, предмет исследования - тонкопленочный нагревательный элемент.Цель работы – произвести разработку конструкции и исследование параметров тонкопленочного нагревательного элемента.В работе изучены методы нанесения тонких пленок на подложку, рассмотрен вопрос методов крепежа контактов, отработаны элементы взаимодействия с технологическим и измерительным оборудованием, разработан и проанализирован технологический маршрут изготовления тонкопленочного нагревательного элемента.Область применения знаний и результатов, полученных в работе, достаточно широк: бытовое и промышленное использование, а в силу некоторых особенностей – использование в специальных областях, например, космической отрасли.В данной работе была разработана конструкция тонкопленочного нагревательного элемента для проведения исследований с данным изделием. Полученные результаты могут быть полезны для конструкторов и технологов в области изготовления тонкопленочных приборов.