Экспериментальное исследование оптоэлектронного метода измерения толщины одноосных кристаллов с-среза

Abstract

Объектом исследования являются методы и средства измеренияоптических и размерных параметров кристаллов ниобата лития.Цель работы – создание бесконтактного метода измерения оптическихи размерных характеристик подложек ниобата лития С-среза.В процессе работы рассмотрены методы получения пучков Бесселя,проведен обзор существующих методов измерения размерных и оптическиххарактеристик кристаллов, предложен основной принцип бесконтактногоисследования ниобата лития, проведена экспериментальная апробацияразработанных методов.В результате выпускной квалификационной работы разработан методбесконтактного измерения размерных и оптических характеристик подложекниобата лития с-среза толщиной ~0,2 – 1 мм с погрешностью 0,1%. Результатыработы представляют интерес для предприятий оптической промышленности,занимающихся выращиванием и обработкой кристаллов для оптоэлектроники,акустоэлектроники, лазерной техники.