Омические контакты к структурам карбида кремния на кремнии, получаемым методом эндотаксии

Исаев Н. Е.; Щербак А. В.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Исаев Н. Е.
dc.contributor.author	Щербак А. В.
dc.coverage.spatial	карбид кремния
dc.coverage.spatial	метод термического вакуумного испарения
dc.coverage.spatial	метод эндотаксии
dc.coverage.spatial	омические контакты
dc.creator	Исаев Н. Е.
dc.date	2023
dc.date.accessioned	2025-11-26T13:55:36Z	-
dc.date.available	2025-11-26T13:55:36Z	-
dc.date.issued	2023
dc.identifier.identifier	RU\НТБ СГАУ\ВКР20230731113426
dc.identifier.citation	Исаев, Н. Е. Омические контакты к структурам карбида кремния на кремнии, получаемым методом эндотаксии : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.03.02 Физика (уровень бакалавриата), направленность (профиль) "Физика" / Н. Е. Исаев ; рук. работы А. В. Щербак; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак., Каф. физики твердо. - Самаpа, 2023. - 1 файл (2,42 Мб). - Текст : электронный
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/43836	-
dc.description.abstract	Цель данной работы: определение переходного сопротивления омических контактов, получаемых методом термического вакуумного испарения к структурам карбида кремния на кремнии, получаемым методом эндотаксии. В первой главе рассмотрены способы получения пленок карбида кремния на кремниевых подложках. Подробно рассмотрен метод эндотаксии, используемый в данной работе. Вторая глава посвящена описанию методов измерения сопротивления омических контактов. В третьей главе представлены результаты исследования омических контактов (элементный анализа области контакта, ВАХ, контактное сопротвиление). Результаты данной работы могут быть использованы в области разработки полупроводниковых микроэлектронных приборов для экстремальной электроники и аэрокосмического приборостроения.
dc.subject	карбид кремния
dc.subject	метод термического вакуумного испарения
dc.subject	метод эндотаксии
dc.subject	омические контакты
dc.subject.rugasnti	29.01
dc.subject.udc	538.9
dc.title	Омические контакты к структурам карбида кремния на кремнии, получаемым методом эндотаксии
dc.type	Text
local.contributor.author	Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.contributor.author	Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.author	Естественнонаучный институт
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Omicheskie-kontakty-k-strukturam-karbida-kremniya-na-kremnii-poluchaemym-metodom-endotaksii-104918
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Omicheskie-kontakty-k-strukturam-karbida-kremniya-na-kremnii-poluchaemym-metodom-endotaksii-104918
Appears in Collections:	Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:

File	Size	Format
Исаев_Никита_Евгеньевич_Омические_контакты_структурам.pdf	2.48 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy

Show simple item record

Samara University Repository

Welcome!