Изучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов

Архипов А. В.; Дмитриев В. Д.; Волков А. В.; Лофицкий И. В.

Title:	Изучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов
Authors:	Архипов А. В. Дмитриев В. Д. Волков А. В. Лофицкий И. В.
Keywords:	агрегаты непрерывного действия блоки агрегатов непрерывного действия магнетронное распыление материалов метод магнетронного распыления материалов нанесение материалов на подложку О1НИ-7-006 (агрегат непрерывного действия) технология нанесения слоев узлы агрегатов непрерывного действия
Issue Date:	2001
Citation:	Изучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов [Электронный ресурс] : метод. указания к лаб. работе / Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. А. В. Архипов и др. - Самара, 2001. - on-line
Abstract:	Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия) Приведены теоретические сведения по технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов. Описаны основные узлы и блоки агрегата непрерывного действия типа О1НИ-7-006, а также порядок работы на нем для приобретения практических навык Используемые программы: Adobe Acrobat
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/41013
Appears in Collections:	Методические издания

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Архипов А.В. Изучение оборудования.pdf		5.2 MB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record

Samara University Repository

Welcome!