1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Институт информатики и кибернетики
  4. VOLGA CYBER WEEK
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorНефедов С. А.
dc.contributor.authorПузырная Г. В.
dc.contributor.authorТурченик С. А.
dc.coverage.spatialметалл-стимулированное химическое травление
dc.coverage.spatialнанонити
dc.coverage.spatialкремний
dc.creatorНефедов С. А., Пузырная Г. В., Турченик С. А.
dc.date2025
dc.date.accessioned2025-08-27T16:09:07Z-
dc.date.available2025-08-27T16:09:07Z-
dc.date.issued2025
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\576516
dc.identifier.citationНефедов, С. А. Формирование нитевидных структур кремния методами МСХТ / С. А. Нефедов, Г. В. Пузырная, С. А. Турченик // Volga Cyber Week : сб. тр. I Всерос. науч.-техн. конф. по информатике и кибернетике (Самара, 24-26 марта 2025 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т). - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2025. - С. 71.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/38654-
dc.description.abstractОписаны методы получения нанонитей на различных кремниевых пластинах методом металл-стимулированного химического травления (МСХТ) и зафиксирована зависимость параметров нанонитей от времени обработки пластин и кристаллографической ориентации кремния.
dc.languagerus
dc.sourceVolga Cyber Week : сб. тр. I Всерос. науч.-техн. конф. по информатике и кибернетике (Самара, 24-26 марта 2025 г.). - Текст : электронный
dc.subjectметалл-стимулированное химическое травление
dc.subjectнанонити
dc.subjectкремний
dc.titleФормирование нитевидных структур кремния методами МСХТ
dc.typeText
dc.citation.spage71
local.contributor.authorНефедов С. А.
local.contributor.authorПузырная Г. В.
local.contributor.authorТурченик С. А.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VOLGA-CYBER-WEEK/Formirovanie-nitevidnyh-struktur-kremniya-metodami-MSHT-115785
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VOLGA-CYBER-WEEK/Formirovanie-nitevidnyh-struktur-kremniya-metodami-MSHT-115785
Appears in Collections:VOLGA CYBER WEEK

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-2192-9_2025-71.pdf446.9 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.