| Title: | Математическая модель собственных колебаний свободно опертого наноразмерного планарного чувствительного элемента НЭМС/МЭМС |
| Authors: | Романов Р. А. Барулина М. А. |
| Keywords: | математическая корректная модель деформации математические модели колебаний деформации планарного чувствительного элемента НЭМС устройства МЭМС устойства планарные чувствительные элементы |
| Issue Date: | 2023 |
| Citation: | Романов, Р. А. Математическая модель собственных колебаний свободно опертого наноразмерного планарного чувствительного элемента НЭМС/МЭМС / Р. А. Романов, М. А. Барулина // RusNanoSat-2023 : сб. тезисов докл. пятого рос. симпозиума по наноспутникам с междунар. участием (Самара, 6 – 8 сент. 2023 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под общ. ред И. В. Белоконова. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2023. - С. 150-152. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/37612 |
| Appears in Collections: | RusNanoSat |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 978-5-7883-2015-1_2023-150-152.pdf | 816.73 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.