Title: Математическая модель собственных колебаний свободно опертого наноразмерного планарного чувствительного элемента НЭМС/МЭМС
Authors: Романов Р. А.
Барулина М. А.
Keywords: математическая корректная модель деформации
математические модели колебаний
деформации планарного чувствительного элемента
НЭМС устройства
МЭМС устойства
планарные чувствительные элементы
Issue Date: 2023
Citation: Романов, Р. А. Математическая модель собственных колебаний свободно опертого наноразмерного планарного чувствительного элемента НЭМС/МЭМС / Р. А. Романов, М. А. Барулина // RusNanoSat-2023 : сб. тезисов докл. пятого рос. симпозиума по наноспутникам с междунар. участием (Самара, 6 – 8 сент. 2023 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под общ. ред И. В. Белоконова. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2023. - С. 150-152.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/37612
Appears in Collections:RusNanoSat

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-2015-1_2023-150-152.pdf816.73 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.