| Title: | Повышение дифракционной эффективности структур при прямой лазерной записи наклонными пучками: моделирование и эксперимент |
| Other Titles: | Improving the diffraction efficiency of structures in direct laser writing using obliquely incident beams: modeling and experiment |
| Authors: | Кирьянов, В.П. Гурин, Н.А. |
| Issue Date: | Apr-2023 |
| Publisher: | Самарский национальный исследовательский университет |
| Citation: | Кирьянов, В.П. Повышение дифракционной эффективности структур при прямой лазерной записи наклонными пучками: моделирование и эксперимент / В.П. Кирьянов, Н.А. Гурин // Компьютерная оптика. – 2023. – Т. 47, № 2. – С. 235-245. – DOI: 10.18287/2412-6179-CO-1161. |
| Series/Report no.: | 47;2 |
| Abstract: | Проведён краткий обзор методов повышения дифракционной эффективности оптических элементов, синтезированных путём прямой лазерной записи. Отмечено, что предложенные ранее методы записи топологии подобных элементов с применением объёмных или поверхностных контурных масок не обеспечивают окончательного решения проблемы повышения дифракционной эффективности. Выполненные модельные и натурные эксперименты по формированию структур рельефно-фазовых оптических элементов путём записи профилей зон с помощью наклонных лазерных пучков показали принципиальную возможность формирования отвесных склонов обратных скатов зон и целесообразность развития данной технологии на основе лазерных генераторов изображений. |
| URI: | 10.18287/2412-6179-CO-1161 http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/22904 |
| Appears in Collections: | Журнал "Компьютерная оптика" |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 2412-6179_2023_47-2_235-245.pdf | Основная статья | 1.34 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.