Title: Повышение дифракционной эффективности структур при прямой лазерной записи наклонными пучками: моделирование и эксперимент
Other Titles: Improving the diffraction efficiency of structures in direct laser writing using obliquely incident beams: modeling and experiment
Authors: Кирьянов, В.П.
Гурин, Н.А.
Issue Date: Apr-2023
Publisher: Самарский национальный исследовательский университет
Citation: Кирьянов, В.П. Повышение дифракционной эффективности структур при прямой лазерной записи наклонными пучками: моделирование и эксперимент / В.П. Кирьянов, Н.А. Гурин // Компьютерная оптика. – 2023. – Т. 47, № 2. – С. 235-245. – DOI: 10.18287/2412-6179-CO-1161.
Series/Report no.: 47;2
Abstract: Проведён краткий обзор методов повышения дифракционной эффективности оптических элементов, синтезированных путём прямой лазерной записи. Отмечено, что предложенные ранее методы записи топологии подобных элементов с применением объёмных или поверхностных контурных масок не обеспечивают окончательного решения проблемы повышения дифракционной эффективности. Выполненные модельные и натурные эксперименты по формированию структур рельефно-фазовых оптических элементов путём записи профилей зон с помощью наклонных лазерных пучков показали принципиальную возможность формирования отвесных склонов обратных скатов зон и целесообразность развития данной технологии на основе лазерных генераторов изображений.
URI: 10.18287/2412-6179-CO-1161
http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/22904
Appears in Collections:Журнал "Компьютерная оптика"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2412-6179_2023_47-2_235-245.pdfОсновная статья1.34 MBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.