| Title: | Анализ погрешностей при цифровой обработке результатов интерферометрического контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей |
| Other Titles: | Error analysis in digital processing of the results of interferometric control of nano-scale local deviations of optical surfaces |
| Authors: | Денисов, Д.Г. |
| Issue Date: | Dec-2017 |
| Publisher: | Самарский университет |
| Citation: | Денисов, Д.Г. Анализ погрешностей при цифровой обработке результатов интерферометрического контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей / Д.Г. Денисов // Компьютерная оптика. – 2017. – Т.41, № 6. – С. 820-830. |
| Series/Report no.: | 41;6 |
| Abstract: | Разработан, научно обоснован и экспериментально подтверждён метод динамической интерферометрии контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей от заданного профиля на основе алгоритма расчёта целевой функции – спектральной плотности одномерной корреляционной функции. Представлены теоретические и экспериментальные исследования, посвящённые определению среднего квадратического отклонения локальных отклонений поверхностей оптических деталей диаметром до 100 мм и до 1000 мм, с учётом неисключённой систематической и случайной составляющих погрешностей определения целевой функции. |
| URI: | https://dx.doi.org/10.18287/2412-6179-2017-41-6-820-830 http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/22698 |
| Appears in Collections: | Журнал "Компьютерная оптика" |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 410605.pdf | Основная статья | 1.06 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.