Title: Анализ погрешностей при цифровой обработке результатов интерферометрического контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей
Other Titles: Error analysis in digital processing of the results of interferometric control of nano-scale local deviations of optical surfaces
Authors: Денисов, Д.Г.
Issue Date: Dec-2017
Publisher: Самарский университет
Citation: Денисов, Д.Г. Анализ погрешностей при цифровой обработке результатов интерферометрического контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей / Д.Г. Денисов // Компьютерная оптика. – 2017. – Т.41, № 6. – С. 820-830.
Series/Report no.: 41;6
Abstract: Разработан, научно обоснован и экспериментально подтверждён метод динамической интерферометрии контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей от заданного профиля на основе алгоритма расчёта целевой функции – спектральной плотности одномерной корреляционной функции. Представлены теоретические и экспериментальные исследования, посвящённые определению среднего квадратического отклонения локальных отклонений поверхностей оптических деталей диаметром до 100 мм и до 1000 мм, с учётом неисключённой систематической и случайной составляющих погрешностей определения целевой функции.
URI: https://dx.doi.org/10.18287/2412-6179-2017-41-6-820-830
http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/22698
Appears in Collections:Журнал "Компьютерная оптика"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
410605.pdfОсновная статья1.06 MBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.