Моделирование ввода излучения в плоские линейные волноводы с помощью дифракционных решёток для новой технологии изготовления волноводных систем

Abstract

Произведено моделирование и выбор оптимальных параметров дифракционной решётки для новой разработанной технологии изготовления плоских волноводных систем. В отличие от использования готовых пластин «кремний на изоляторе», разработана новая технология изготовления полностью автономной системы ввода излучения, согласующего элемента и собственно волновода. Приведено общее описание технологии системы «ввод излучения – распространение – вывод излучения». Найдены конкретные технологические параметры высоты решётки, подстилающего и покровного слоёв. Эффективность ввода в волновод составила 30 % за счёт подбора оптимального расстояния от волновода до кремниевой подложки, которая работает как зеркальный слой.

The numerical simulation and selection of optimal parameters of the diffraction grating for a newly developed technology for the manufacture of plane waveguide systems are performed. In contrast to the use of ready-made silicon wafers on an insulator, the new technology has been developed for the manufacture of a fully autonomous radiation input system, a coupling element and the waveguide itself. A general description of the technology of the ‘radiation input – propagation – radiation output’ system is given. Concrete fabrication parameters of the lattice height, the substrate and coating layers are found. The coupling efficiency of radiation input into the waveguide is found to be 30%.