Использование атомно-силовой микроскопии для оценки качества очистки и трибометрических свойств поверхности кремниевых пластин

Михеев, И.Д.; Вахитов, Ф.Х.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Михеев, И.Д.
dc.contributor.author	Вахитов, Ф.Х.
dc.date	2019-06
dc.date.accessioned	2025-08-27T05:20:23Z	-
dc.date.available	2025-08-27T05:20:23Z	-
dc.date.issued	2019-06
dc.identifier.identifier	Dspace\SGAU\20190718\78042
dc.identifier.citation	Михеев, И.Д. Использование атомно-силовой микроскопии для оценки качества очистки и трибометрических свойств поверхности кремниевых пластин / И.Д. Михеев, Ф.Х. Вахитов // Компьютерная оптика. – 2019. – Т. 43, № 3. – С. 507-511. – DOI: 10.18287/2412-6179-2019-43-3-507-517.
dc.identifier.uri	https://dx.doi.org/10.18287/2412-6179-2019-43-3-507-517.
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/22412	-
dc.description.abstract	Экспериментально исследованы различия в величинах адгезионных сил взаимодействия острия зонда атомно-силового микроскопа и очищенных поверхностей кремниевых пластин при их обработке изопропиловым спиртом и дистиллированной водой. Показано, что наличие на поверхности подложек молекул воды приводит к значительному (приблизительно в 5 раз) изменению этих сил. Установлено, что использование атомно-силового микроскопа позволяет оценивать относительную величину сил трения на малых участках поверхностей кремниевых пластин.
dc.language	rus
dc.publisher	Самарский национальный исследовательский университет им. академика С.П. Королева, Институт систем обработки изображений РАН - филиал ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН
dc.relation.ispartofseries	43;3
dc.title	Использование атомно-силовой микроскопии для оценки качества очистки и трибометрических свойств поверхности кремниевых пластин
dc.title.alternative	The use of atomic force microscopy to assess the quality of cleaning and tribometric properties of a silicon wafer surface
dc.type	Article
dc.identifier.scsti	29.19.16
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Zhurnal-Komputernaya-optika/Ispolzovanie-atomnosilovoi-mikroskopii-dlya-ocenki-kachestva-ochistki-i-tribometricheskih-svoistv-poverhnosti-kremnievyh-plastin-78042
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Zhurnal-Komputernaya-optika/Ispolzovanie-atomnosilovoi-mikroskopii-dlya-ocenki-kachestva-ochistki-i-tribometricheskih-svoistv-poverhnosti-kremnievyh-plastin-78042
Appears in Collections:	Журнал "Компьютерная оптика"

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
20_Miheev-Vahitov_AA-L-MI-Pages-SV-VVK-JuN2-NL-Gr-!-Fin.pdf	Основная статья	692.88 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record