1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 03. Авторефераты и диссертации
  3. Диссертации (Закрыто)
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.
dc.coverage.spatialдифракционные оптические элементы
dc.coverage.spatialфотолитография
dc.coverage.spatialэлементы дифракционной оптики
dc.coverage.spatialтермохимическое окисление
dc.coverage.spatialлазерное излучение
dc.creatorАгафонов А. Н.
dc.date2011
dc.date.accessioned2025-08-27T05:06:00Z-
dc.date.available2025-08-27T05:06:00Z-
dc.date.issued2011
dc.identifier.identifierRU/НТБ СГАУ/WALL/Дис/А 235-848385
dc.identifier.citationАгафонов, А. Н. Метод формирования элементов дифракционной оптики с повышенной разрешающей способностью на основе тонких пленок хрома, термически окисленных локальным воздействием лазерного излучения [Электронный ресурс] : дис. ... канд. техн. наук : 01.04.01 : защищена 07.10.2011 / Агафонов Андрей Николаевич ; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (СГАУ). - Самара, 2011. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/18415-
dc.description.abstractДСП
dc.languagerus
dc.relation.isformatofМетод формирования элементов дифракционной оптики с повышенной разрешающей способностью на основе тонких пленок хрома, термически окисленных локальным
dc.subjectдифракционные оптические элементы
dc.subjectфотолитография
dc.subjectэлементы дифракционной оптики
dc.subjectтермохимическое окисление
dc.subjectлазерное излучение
dc.subject.rubbk01.04.01
dc.subject.rugasnti29.31
dc.subject.udc535.42(043.3)
dc.subject.udcДис
dc.titleМетод формирования элементов дифракционной оптики с повышенной разрешающей способностью на основе тонких пленок хрома, термически окисленных локальным воздейств
dc.typeText
local.contributor.authorАгафонов А. Н.
local.contributor.authorСамарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Dissertacii-Zakryto/Metod-formirovaniya-elementov-difrakcionnoi-optiki-s-povyshennoi-razreshaushei-sposobnostu-na-osnove-tonkih-plenok-hroma-termicheski-okislennyh-lokalnym--56729
Appears in Collections:Диссертации (Закрыто)

Files in This Item:
File SizeFormat 
Агафонов А.И. Метод формирования.pdf141.99 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.