Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы

Колпаков В. А.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Колпаков В. А.
dc.coverage.spatial	внеэлектродная плазма
dc.coverage.spatial	полупроводниковые оптические материалы
dc.coverage.spatial	оптические материалы
dc.coverage.spatial	диэлектрические оптические материалы
dc.creator	Колпаков В. А.
dc.date	2010
dc.date.accessioned	2025-08-27T05:02:08Z	-
dc.date.available	2025-08-27T05:02:08Z	-
dc.date.issued	2010
dc.identifier.identifier	RU/НТБ СГАУ/WALL/Дис/К 615-503502
dc.identifier.citation	Колпаков, В. А. Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы [Электронный ресурс] : дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.01 : защищена 29.06.2010 / Колпаков Всеволод Анатольевич ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Ин-т систем обраб. изображений РАН. - Самара, 2010. - [r=on-line]
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/18181	-
dc.description.abstract	ДСП
dc.language	rus
dc.relation.isformatof	Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной
dc.subject	внеэлектродная плазма
dc.subject	полупроводниковые оптические материалы
dc.subject	оптические материалы
dc.subject	диэлектрические оптические материалы
dc.subject.rubbk	01.04.01
dc.subject.rugasnti	29.03
dc.subject.udc	53.145(043.3)
dc.subject.udc	Дис
dc.title	Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы
dc.type	Text
local.contributor.author	Колпаков В. А.
local.contributor.author	Министерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.author	Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
local.contributor.author	Российская академия наук
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Dissertacii-Zakryto/Pribory-i-metody-prostranstvennoselektivnogo-travleniya-dielektricheskih-i-poluprovodnikovyh-opticheskih-materialov-napravlennym-potokom-vneelektrodnoi-p-55998
Appears in Collections:	Диссертации (Закрыто)

Files in This Item:

File	Size	Format
Колпаков В. А. Приборы и методы.pdf	147.37 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy

Show simple item record