Коррекция ошибки угловой координаты круговых записывающих лазерных систем при изготовлении дифракционных структур с произвольной топологией

Abstract

Дифракционные оптические элементы с произвольной топологией широко применяются в различных отраслях современной науки и техники. Значительная часть современной дифракционной оптики производится методом кругового растрового сканирования при помощи установок типа CLWS-300. Одной из остро стоящих проблем данного типа установок является точность работы угловой координаты. В данной работе проведён анализ ошибок угловой координаты, предложен метод их контроля, а также рассмотрена возможность их коррекции. One of the most perspective technique fabrications of diffractive optical elements (DOE) is circle raster scanning technique. The technique is implemented using laser writing system such as CLWS-300. In this paper, we propose a method of error characterization and correction of the angular coordinate to improve the accuracy of writing for polar coordinate writing system.