Дифракционные решетки в системе датчика линейных перемещений

Abstract

В работе проанализированы особенности применения дифракционных решеток с профилем рельефа в виде одномерного меандра в системе датчика линейных перемещений. Проведено моделирование дифракции монохроматической волны на исследуемых структурах с целью получения зависимостей дифракционной эффективности. Предложены условия применимости дифракционных решеток в нанометрических датчиках линейных перемещений, которые в то же время являются критериями качества при контроле реальных образцов измерительных шкал. The paper focuses on one-dimensional diffraction gratings applied in the system of linear displacement encoders. A diffraction simulation of a monochromatic wave on the meander relief structure under study was carried out to conclude with the efficiency dependences. Quality conditions for coding and analysing diffraction gratings were held out. That conditions are at the same time the applicability criteria when controlling the real measuring scales for nanometric sensors of linear displacement.