Исследование отжига тонких пленок CdTe во внеэлектродной плазме для фотовольтаики

Abstract

В работе изучалось влияние различных режимов работы источника внеэлектродной плазмы на свойства тонких пленок CdTe. В результате экспериментального исследования получены оптимальные режимы отжига, позволяющие минимально воздействуя на состав пленок, улучшать структурные свойства, микрорельеф, повышать степень кристаллического совершенства пленок CdTe. In the work, studies were made of the influence of various operating modes of the source of the off-electrode plasma on the properties of CdTe films. As a result of the experimental investigation, optimal annealing regimes were obtained, which allow minimally affecting the composition of the films, improve the structural properties, microrelief, and increase the degree of crystalline perfection of CdTe films.