Title: Влияние технологических параметров на оптические свойства фоточувствительных структур на основе пористого кремния
Other Titles: The influence of technological parameters on the optical properties of photosensitive structures based on porous silicon
Authors: Латухина, Н.В.
Лизункова, Д.А.
Паранин, Д.В.
Рогожина, Г.А.
Issue Date: 2018
Publisher: Новая техника
Citation: Латухина Н.В. Влияние технологических параметров на оптические свойства фоточувствительных структур на основе пористого кремния / Н.В. Латухина, Д.А. Лизункова, Д.В. Паранин, Г.А. Рогожина // Сборник трудов IV международной конференции и молодежной школы «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2018) - Самара: Новая техника, 2018. - С.334-339.
Abstract: Мы изучаем фоточувствительные структуры, содержащие слои пористого кремния, изготовленные по различным технологическим маршрутам. Исследованы спектральные характеристики коэффициента отражения структур с пористым слоем и их фоточувствительность. Показано влияние диффузии на оптические свойства структур. We study photosensitive structures containing porous silicon layers made on different technological routes. The spectral characteristics of the reflection coefficient of structures with a porous layer and their photosensitivity are investigated. The effect of diffusion on the optical properties of structures.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/13805
Appears in Collections:Информационные технологии и нанотехнологии

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
paper_50.pdfОсновная статья566.66 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.