| Title: | Влияние технологических параметров на оптические свойства фоточувствительных структур на основе пористого кремния |
| Other Titles: | The influence of technological parameters on the optical properties of photosensitive structures based on porous silicon |
| Authors: | Латухина, Н.В. Лизункова, Д.А. Паранин, Д.В. Рогожина, Г.А. |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | Новая техника |
| Citation: | Латухина Н.В. Влияние технологических параметров на оптические свойства фоточувствительных структур на основе пористого кремния / Н.В. Латухина, Д.А. Лизункова, Д.В. Паранин, Г.А. Рогожина // Сборник трудов IV международной конференции и молодежной школы «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2018) - Самара: Новая техника, 2018. - С.334-339. |
| Abstract: | Мы изучаем фоточувствительные структуры, содержащие слои пористого кремния, изготовленные по различным технологическим маршрутам. Исследованы спектральные характеристики коэффициента отражения структур с пористым слоем и их фоточувствительность. Показано влияние диффузии на оптические свойства структур. We study photosensitive structures containing porous silicon layers made on different technological routes. The spectral characteristics of the reflection coefficient of structures with a porous layer and their photosensitivity are investigated. The effect of diffusion on the optical properties of structures. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/13805 |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| paper_50.pdf | Основная статья | 566.66 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.