Samara University Repository
Welcome!
Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ганчевская, С.В. | |
| dc.contributor.author | Скиданов, Р.В. | |
| dc.date | 2018 | |
| dc.date.accessioned | 2025-08-22T12:18:34Z | - |
| dc.date.available | 2025-08-22T12:18:34Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.identifier | Dspace\SGAU\20180519\69689 | |
| dc.identifier.citation | Ганчевская С.В. Модифицированный метод прямой лазерной записи радиально-симметричных структур / С.В. Ганчевская, Р.В. Скиданов // Сборник трудов IV международной конференции и молодежной школы «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2018) - Самара: Новая техника, 2018. - С.317-321. | |
| dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/13764 | - |
| dc.description.abstract | Предложен и промоделирован модифицированный метод прямой лазерной записи по фоторезисту. Метод основан на использовании плоскопараллельной пластины для смещения пишущего пучка. Проведено экспериментальное исследование по записи радиально-симметричных структур пучком со смещенной фокусировкой. A modified direct laser photoresist recording method was proposed and modeled. The method is based on using a planar-parallel plate to shift the writing beam. An experimental study was carried out on the recording of radially symmetric structures by a beam with a shifted focusing. | |
| dc.description.sponsorship | Работа выполнена при поддержке Федерального агентства научных организаций (соглашение No 007-ГЗ/Ч3363/26), Министерства образования РФ в рамках выполнения государственного задания 3.3025.2017/4.6 и гранта Президента НШ-6307.2018.8. | |
| dc.language | rus | |
| dc.publisher | Новая техника | |
| dc.title | Модифицированный метод прямой лазерной записи радиально-симметричных структур | |
| dc.title.alternative | Modified method of direct laser writing radially symmetric structures | |
| dc.type | Article | |
| local.identifier.olduri | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Modificirovannyi-metod-pryamoi-lazernoi-zapisi-radialnosimmetrichnyh-struktur-69689 | |
| local.identifier.olduri | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Modificirovannyi-metod-pryamoi-lazernoi-zapisi-radialnosimmetrichnyh-struktur-69689 | |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и нанотехнологии | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| paper_47.pdf | Основная статья | 246.32 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.