Формирование микро- и наноструктур на пленках молибдена по технологии лазерной абляции

Abstract

Рассматриваются технологические основы формирования микро- и наноструктур в тонких пленках молибдена методом локальной лазерной абляции. На пленках молибдена с толщинами 17-45 нм, нанесенных на диэлектрическое основание, были получены круговые решетки щелей с размерами 0,2-0,3 мкм, что приблизительно в 3-4 раза меньше диаметра воздействующего фокального пятна (d=0,8 мкм). Обнаружено, что испарение пленок происходит при существенно меньших значениях плотности мощности лазерного излучения, чем следует из расчетов. С целью объяснить несоответствия между практическими и теоретическими данными представлено модельное описание термоокислительной деструкции пленок. Для проверки модельного описания приводятся результаты исследований оптических свойств пленок, их химического и элементного состава. Феномен сокращения размера зоны абляции объяснен с применением численного моделирования данного процесса.