Моделирование кремниевого кольцевого микрорезонатора газового сенсора с помощью Comsol

Abstract

В работе проведено трехмерное векторное моделирование прохождения стационарного оптического сигнала в кремниевом кольцевом микрорезонаторе с помощью программного пакета Comsol. Численное моделирование проведено с различным типом поляризации, различными формами волноводов, различного радиуса кольца. Получены картины распределения электромагнитного поля внутри волноводной структуры и вблизи нее. Рассчитаны распределения интенсивности по сечению кольцевого резонатора в зависимости от параметров кольцевого резонатора. Установлены условия получения максимальной чувствительности кольцевого резонатора к условиям окружающей среды, что позволяет применить данную структуру в качестве оптического жидкостного или газового сенсора.