Моделирование зубчатого резонатора микроэлектромеханического гироскопа

Abstract

Объектом исследования является зубчатый резонатор вибрационного кольцевого микроэлектромеханического гироскопа. Предложена и реализована в программной среде математическая модель устройства. Представлены основные этапы разработки модели, описаны модельные эксперименты с использованием метода конечных сеток. При выполнении балансировки, зубчатый резонатор позволяет получать меньшие значения расщепления частоты, что доказывает преимущество предложенной конструкции по сравнению с известными решениями. Результаты работы могут быть использованы при разработке микромеханических инерционных датчиков беспилотных летательных аппаратов. The object of the research is the toothed resonator of a vibration ring microelectromechanical system gyroscope. The mathematical model of the device is suggested and implemented in the simulation software. The main development stages of the model are produced, simulation experiments with the usage of a finite element method are described. At balancing accomplishment, the toothed resonator allows receiving smaller values of frequency splitting that proves the benefit of the suggested construction in comparison with the known decisions. The results of the work can be used when developing micromechanical inertial sensors of unmanned aerial vehicles.