1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Информационные технологии и нанотехнологии
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБелоусов Д. А.
dc.contributor.authorКуц Р. И.
dc.contributor.authorКорольков В. П.
dc.coverage.spatialантиотражающие покрытия
dc.coverage.spatialдифракционная оптика
dc.coverage.spatialмногослойные пленки
dc.coverage.spatialтермохимические технологии
dc.coverage.spatialтонкие пленки металлов
dc.coverage.spatialпрямая лазерная запись
dc.creatorБелоусов Д. А., Куц Р. И., Корольков В. П.
dc.date2023
dc.date.accessioned2025-08-22T12:18:55Z-
dc.date.available2025-08-22T12:18:55Z-
dc.date.issued2023
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\541253
dc.identifier.citationБелоусов, Д. А. Оптимизация параметров двухслойной пленки Si/Ti для термохимической лазерной записи дифракционных структур / Д. А. Белоусов, Р. И. Куц, В. П. Корольков // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2023) : сб. тр. по материалам IX Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 17-23 апр. 2023 г.): в 6 т. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - Фил. Федер. науч.-исслед. центра "Кристаллография и фотоника" Рос. акад. наук. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2023Т. 1: Компьютерная оптика и нанофотоника / под ред. Е. С. Козловой. - 2023. - С. 010482.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/12683-
dc.description.abstractВ работе представлены результаты оптимизации толщины антиотражающего слоя Si, напыляемого на пленку Ti. Показано, что использованиеантиотражающего слоя кремния позволяет, помимо защиты металлической пленки от окисления в воздушной атмосфере, существенно повысить поглощение лазерного излучения на длинах волн 375 нм, 405 нм и 532 нм для задач термохимической лазерной записи на двухслойных пленках Si/Ti дифракционных структур.
dc.languagerus
dc.relation.ispartofИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2023) : сб. тр. по материалам IX Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 17-23 апр. 2023 г.): в 6
dc.sourceИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2023). - Т. 1 : Компьютерная оптика и нанофотоника
dc.subjectантиотражающие покрытия
dc.subjectдифракционная оптика
dc.subjectмногослойные пленки
dc.subjectтермохимические технологии
dc.subjectтонкие пленки металлов
dc.subjectпрямая лазерная запись
dc.titleОптимизация параметров двухслойной пленки Si/Ti для термохимической лазерной записи дифракционных структур
dc.typeText
dc.citation.spage010482
dc.citation.volume1
local.contributor.authorБелоусов Д. А.
local.contributor.authorКуц Р. И.
local.contributor.authorКорольков В. П.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Optimizaciya-parametrov-dvuhsloinoi-plenki-SiTi-dlya-termohimicheskoi-lazernoi-zapisi-difrakcionnyh-struktur-105568
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Optimizaciya-parametrov-dvuhsloinoi-plenki-SiTi-dlya-termohimicheskoi-lazernoi-zapisi-difrakcionnyh-struktur-105568
Appears in Collections:Информационные технологии и нанотехнологии

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-1917-9_2023-010482.pdf283.87 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.