Title: Влияние обработки на морфологию поверхности алмазных пластин для производства изделий оптоэлектроники
Authors: Кукушкина Л. А.
Соломникова А. В.
Зубков В. И.
Keywords: алмазные пластины
автоматизированные сканирующие зондовые микроскопы
АСМ-сканирование
ионно-лучевое травление
математическая обработка изображений
химико-механическая полировка
снижение шероховатости поверхности
оптимальные методы обработки
оптоэлектронные приборы
монокристаллические алмазы
морфология поверхности
Issue Date: 2022
Citation: Влияние обработки на морфологию поверхности алмазных пластин для производства изделий оптоэлектроники / К. Курасова, Л. А. Кукушкина, А. В. Соломникова, В. И. Зубков // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2022) : сб. тр. по материалам VIII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 23 - 27 мая) : в 5 т. / М-во науки и образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2022Т. 2: Информационные технологии дистанционного зондирования Земли / под ред. И. С. Ткаченко. - 2022. - С. 022562.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/12283
Appears in Collections:Информационные технологии и нанотехнологии

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-1790-8_2022-022562.pdf745.09 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.