Численный анализ точности аппроксимации волнового фронта полиномами Цернике в задаче измерения плоскостности оптических поверхностей с помощью гартманометра

Abstract

Разработано и исследованометрологическое устройство – гартманометр – на основедатчика волнового фронта Шака-Гартмана для измеренияплоскостности оптических поверхностей, выполненосравнение результатов с результатами, полученными приизмерении с помощью интерферометра Физо. В работепредставлен метод калибровки гартманометра, а такжеприведено сравнение результатов измерения тестовойоптической поверхности с помощью разработанногоустройства и с помощью классического интерферометраФизо. Общая амплитуда искажений волнового фронта,измеренная с помощью интерферометра Физо, составила0,127 мкм (среднеквадратичное отклонение 0,022 мкм).Гартманометр показал амплитуду искажений 0,131 мкм(среднеквадратичное отклонение 0,024 мкм).