Оптические свойства нанокристаллического кремния и карбида кремния

Abstract

Пористый кремний обладает широким набором уникальных свойств и является перспективным материалом для фотоприемников нового поколения. Благодаря развитой системе пор площадь поглощающей поверхности увеличивается, а спектральная чувствительность расширяется в коротковолновую область за счет увеличения ширины запрещенной зоны кремния в наноразмерных кремниевых нитях, образующих стенки пор. Карбидизация поверхностного слоя пористого кремния делает поглощение еще более эффективным. При этом спектр поглощения ФЭП расширяется в коротковолновую область не только за счет квантоворазмерного увеличения ширины запрещенной зоны кремния в нанокристаллах, но и за счет поглощения в широкозонном материале высокоэнергичных фотонов. В данной работе приведены результаты исследования спектральных характеристик фотолюминесцентных структур, коэффициентов отражения структур со слоем пористого кремния.