Samara University Repository

1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
2. 04. Материалы конференций
3. Информационные технологии и нанотехнологии

Title:	Система записи и контроля микрорельефа низкочастотных многоуровневых рельефно-фазовых элементов
Authors:	Шиманский Р. В. Корольков В. П. Белоусов Д. А. Хомутов В. Н. Шиманский В. К.
Keywords:	синтез рельефно-фазовых оптических элементов прямая лазерная запись экспериментальные установки дифракционные оптические элементы контроль микрорельефа конформальный корректор волнового фронта низкочастотные рельефно-фазовые элементы
Issue Date:	2021
Citation:	Система записи и контроля микрорельефа низкочастотных многоуровневых рельефно-фазовых элементов. - Текст : электронный / Р. В. Шиманский, В. П. Корольков, Д. А. Белоусов, В. Н. Хомутов, В. К. Шиманский // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021) : сб. тр. по материалам VII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 20-24 сент.) : [в 3 т.]. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изображений РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника РАН. - 2021. - Т. 1. - С. 013572
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/11951
Appears in Collections:	Информационные технологии и нанотехнологии

Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.