Samara University Repository

1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
2. 04. Материалы конференций
3. Информационные технологии и нанотехнологии

Title:	Теоретическое и экспериментальное исследование спиральной зонной пластинки в тонкой пленке алюминия
Authors:	Козлова Е. С. Стафеев С. С. Подлипнов В. В. Фомченков С. А. Котляр В. В.
Keywords:	тонкие пленки алюминия численное моделирование оптические вихри спиральные зонные пластинки электронно-лучевая литография FDTD-метод вихревые пучки лифт-офф процесс
Issue Date:	2021
Citation:	Теоретическое и экспериментальное исследование спиральной зонной пластинки в тонкой пленке алюминия. - Текст : электронный / Е. С. Козлова, С. С. Стафеев, В. В. Подлипнов, С. А. Фомченков, В. В. Котляр // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021) : сб. тр. по материалам VII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 20-24 сент.) : [в 3 т.]. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изображений РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника РАН. - 2021. - Т. 1. - С. 010022
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/11931
Appears in Collections:	Информационные технологии и нанотехнологии

Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.