Генератор внеэлектродной плазмы с полым катодом

Abstract

Предложен генератор формирующий широкоапертурный поток отрицательно заряженных частиц плазмы с сечением 120 мм. Параметры генератора: ток разряда - 1 А; ускоряющее напряжение от 0.3 до 6 кВ; плотность тока до 10 мА/см2; длина потока до 50 см; равномерность распределения заряженных частиц по сечению потока плазмы не хуже 98%. Конструкция генератора содержит коаксиально расположенные ячейки сетчатого анода и сетки катода, замыкающей полость в его объеме глубиной L = 3–5 длин свободного пробега электрона в потоке газоразрядной плазмы. Расстояние между сетчатым анодом и сеткой катода равно темному астоновому пространству тлеющего разряда. Показано, что длительность непрерывной работы катода и диапазон рабочих давлений определяются выбранными значениями глубины его полости и ускоряющего напряжения.