Перспективы создания лазерного нанолитографа для задач дифракционной оптики и нанофотоники

Abstract

В данной работе рассмотрены некоторые перспективные задачи, решение которых позволит решить проблему синтеза новых типов дифракционных оптических элементов с применением прямой лазерной записи. Рассматривается концепция построения лазерного нанолитографа. Рассмотрены подходы к реализации оптико-механических, оптических и электронных блоков системы и функциональной структуры их управления. Обсуждаются возможности использования различных материалов для записи. The paper considers the concept of building a laser nanolithography system, based on the requirements arising in solving the problems of high-resolution synthesis of elements of diffractive optics and nanophotonics. The approaches to the implementation of optical, electronic and mechanical units of the system and the functional structure for their controlling are considered. The possibilities of using various recording materials are also considered.