Запись и обработка микроизображений для контроля точности изготовления прецизионных синтезированных голограмм

Abstract

Разработан и исследован метод контроля точности изготовления прецизионных синтезированных структур в полярной системе координат с использованием специальных микроизображений в виде линейных решёток, записываемых по двум ортогональным направлениям. Внутренняя часть каждого микроизображения формируется перед записью прецизионной структуры, а вторая часть во время записи структуры. Сдвиг между первой и второй частью микроизображения позволяет определить ошибку дрейфа, сдвига подложки и т.п. по каждой из координат. Метод позволяет повысить точность и достоверность сертификации точности изготовления прецизионных синтезированных структур. Исследованы две топологии формируемых микроизображений и проведён сравнительный анализ результатов их обработки. The method to check the manufacturing accuracy of precision synthesized structures using special micro-images written along two orthogonal directions at the manufacture of synthesized holograms in the polar coordinate system has been developed and investigated. The inside part of each micro-image is formed before the precision structure writing, and the second part is formed during the structure writing. The shift between first and second parts of the micro-image allows determine the error of drift, substrate shift, etc. for each of the coordinates. The method allows to increase the accuracy and reliability of the correctness certification of manufacturing of precision synthesized structures. Two topologies of the formed micro-images are investigated and a comparative analysis of the results of their processing is carried out.